Apakah bahaya elektrik statik di bilik bersih?
Bahaya elektrik statik di bilik bersih terutamanya nyata dalam tiga bidang berikut:
⚠️ 1. Kerosakan produk dan hasil yang dikurangkan
Kerosakan komponen elektronik: pelepasan elektrostatik (ESD) boleh merosakkan transistor dalam litar bersepadu, terutamanya transistor kesan medan (FET) . voltan statik boleh berkisar dari puluhan volt
Penyerapan pencemar: Elektrik statik menarik zarah debu di alam sekitar, mencemarkan komponen ketepatan (seperti wafer semikonduktor), meningkatkan kecacatan produk dan kadar sekerap .
🛠️ 2. Risiko Operasi Peralatan
Ketepatan instrumen yang terdegradasi: Pelepasan elektrostatik boleh mengganggu sensor dan sistem kawalan pada peralatan pengeluaran, yang mempengaruhi kestabilan peralatan dan ketepatan pengukuran .
Kegagalan dan downtime: Pengumpulan elektrik statik boleh menyebabkan peralatan litar pintas atau kerosakan, yang membawa kepada downtime yang tidak dirancang, peningkatan kos pembaikan, dan proses pengeluaran yang terganggu . 👥 iii . kakitangan keselamatan dan alam sekitar kakitangan
Kesan kesihatan: Elektrik statik boleh menyebabkan kerengsaan, insomnia, atau sakit kepala pada pekerja; Bagi mereka yang mempunyai fungsi jantung yang lemah, ia juga boleh menyebabkan irama jantung yang tidak normal .
Risiko Kebakaran: Dalam persekitaran yang mudah terbakar dan letupan, percikan statik boleh menyebabkan kebakaran atau letupan .
Petunjuk Perlindungan Utama
Untuk bilik bersih elektronik, langkah anti-statik mesti memenuhi keperluan berikut:
Masa pelesapan statik kurang daripada atau sama dengan 2 saat
Resistiviti permukaan dikawal dalam julat 10 ⁴ -10 ωΩ
Potensi elektrostatik kurang daripada atau sama dengan 100V untuk kawasan Kelas A dan kurang daripada atau sama dengan 1000V untuk Kelas B Kawasan .
Nota: Industri elektronik memerlukan perhatian tambahan kepada 0 . 1μm kawalan zarah dan pemantauan pencemar molekul udara (AMC).
