Keperluan elektrik statik untuk bilik bersih
(1) Bilik bersih
Semikonduktor, paparan kristal cecair panel rata, optoelektronik, dan bioperubatan semuanya memerlukan bengkel pengeluaran yang bersih. Umumnya, bilik bersih merujuk kepada bilik atau ruang terhad di mana kepekatan zarah udara yang digantung di ruang dikendalikan dalam had yang ditentukan. Semakin kecil bilangan zarah yang terhad, semakin tinggi kebersihannya.
(2) Elektrik statik di bilik bersih
Oleh kerana keperluan kebersihan bilik bersih, penggunaan dalaman
① Sebilangan besar bahan hiasan dengan medium penebat tinggi, lantai, dinding, pintu, siling, partition, bangku kerja, kerusi, dan lain-lain, bahan-bahan ini mudah dijana elektrik dan dikenakan oleh geseran, dan tidak mudah bocor dan dilepaskan.
Lantai plastik 500V ~ 1000V di ruang gambar, 500V ~ 1500V di ruang penyebaran, 500V ~ 1500V di lantai jubin, 700V untuk kertas dinding plastik, OV ~ 1000V untuk siling plastik, 500V ~ 3000V untuk permukaan kerusi kulit logam yang boleh bergerak.
PeopleJika orang memakai pakaian bersih, kasut, berjalan kaki atau bekerja, geseran dengan pelbagai bahan, peralatan dan peralatan akan menghasilkan elektrik statik, dan orang, pakaian dan kasut akan dikenakan.
Orang yang memakai pakaian nilon dan kasut bersalut getah plastik berjalan perlahan di lantai yang bersih, dengan voltan statik 7000V ~ 8000V di badan mereka.
1200V (10% ~ 20% RH), 250V (65% ~ 90% RH) dapat digunakan untuk berjalan di lantai vinil, 35000V (10% ~ 20% RH), 1500V (65% ~ 90) dapat digunakan untuk berjalan kaki pada karpet% RH), garis pemasangan cip, pakaian kerja yang dipakai orang boleh mencapai 10KV.
③ Aliran udara penghawa dingin melalui penapis kesan utama, penapis kesan sederhana, dan penapis kecekapan tinggi, dan aliran udara keluar yang disucikan dicas secara elektrostatik.
Bekalan udara plat aluminium dan saluran udara balik adalah 500 ~ 1000V.
④ Sebilangan besar peralatan, peralatan dan alat penebat juga merupakan sumber muatan elektrostatik yang penting. Lini pengeluaran pemasangan wafer: wafer loading box 35KV, plexiglass cover 8KV, quartz product 1.5KV, wafer tray 6KV, acrylic cover 20KV, table top 10KV, plastic storage cabinet 30KV, glass fiber crystal loading box slaid di atas meja polipropilena Dengan 10KV.
Ringkasnya: semakin tinggi syarat kebersihan bilik bersih, semakin serius pengecasan elektrostatik.