Pengetahuan tentang perlindungan elektrostatik dalam industri semikonduktor
Pengetahuan asas pencegahan elektrik statik dalam industri semikonduktor:
Kaedah penjanaan elektrik statik: pemisahan kenalan; geseran; mengupas; Pengaliran.
Keselamatan pertama: Sama ada langkah-langkah anti-statik bercanggah dengan langkah-langkah keselamatan.
Langkah-langkah perlindungan: sambungan asas-equipotential; kawalan kuasa statik; pembungkusan anti-statik.
Perkara utama yang membimbangkan: keperluan sensitiviti elektrostatik produk; pemadanan standard perlindungan; pengesahan pematuhan.
Bila hendak menggunakan bahan logam dan bila menggunakan bahan disiprat statik?
bahan logam:
1. Bahan logam boleh digunakan secara langsung apabila produk berada pada potensi yang sama.
2. Bahan logam boleh digunakan apabila produk tunggal tidak akan secara langsung menghubungi bahan logam.
Oleh kerana keseluruhan rangka kerja pemprosesan produk, wafer menggunakan filem bukan anti-statik, dan beberapa peralatan tidak dapat dilengkapi dengan kipas ion. Elektrik statik akan berkumpul semasa proses. Di samping memasang kipas ion, kami akan memilih beberapa bahan konduktif yang cepat untuk membuat panduan pantas elektrik statik.
Adakah baik-baik saja jika bahan-bahan disiptif statik digunakan?
Ya, tetapi elektrik statik menghilangkan sangat perlahan, terdapat risiko pengumpulan elektrik statik, dan pelepasan akan berlaku semasa memotong, yang menimbulkan risiko besar kerosakan ESD kepada produk.
Bahan elektrostatik: Selepas memotong dan memisahkan produk tunggal, penghantaran dan pembungkusan produk, bahan elektrostatik boleh digunakan.
Apakah risiko menggunakan bahan yang salah?
Oleh kerana produk selepas memotong dan pemisahan lebih sensitif dan lemah dalam keupayaan anti-statik, jika bahan logam digunakan, mereka akan menyebabkan kerosakan ESD kepada produk kerana pengaliran terlalu cepat (kerana pelepasan cepat selepas hubungan langsung dengan produk), dan penggunaan bahan elektrostatik akan mengehadkan tekanan. Kurangkan risiko kerosakan ESD kepada produk selepas bersentuhan dengan produk.
Langkah-langkah perlindungan elektrostatik dalam industri semikonduktor
Sambungan equipotential grounding: konduktor yang bersentuhan dengan peranti sensitif menyedari sambungan equipotential untuk mengelakkan pelepasan disebabkan oleh elektrik statik pada konduktor.
Kawalan kuasa statik: Elektrik statik bahan penebat tidak boleh dihapuskan melalui sambungan grounding dan equipotential, jadi kawalan kuasa statik mesti dilakukan di sekitar peranti sensitif.
Pembungkusan anti-statik: Peranti yang dihantar keluar dari kawasan perlindungan ESD mesti menggunakan pembungkusan anti-statik untuk mengelakkan pengaruh elektrik statik luaran.
Teras perlindungan statik adalah penghapusan statik: mencegah elektrik statik daripada terkumpul di mana elektrik statik mungkin berlaku. Kami mengambilnya untuk menjana dan mempedulikan elektrik statik. Dan mengawal voltan elektrostatik dalam julat yang selamat. Menghapuskan pengumpulan elektrik statik yang sedia ada dan lepaskannya tepat pada masanya.