Penjerapan elektrostatik kipas ion
Dalam industri LCD, substrat kaca menjadi lebih besar dan keupayaan untuk menarik caj juga dipertingkatkan. Oleh kerana saiz substrat yang besar, sebarang pencemaran boleh mengakibatkan penurunan hasil. Seperti industri kawalan pencemaran lain, industri LCD telah mencari bahan baru yang dapat menyelesaikan masalah ESD. Bahan-bahan yang digunakan dalam bilik pembersihan juga lebih cenderung menggunakan penghancur ion antistatik, dan bahan-bahan baru boleh dicuba pada kain kapas dan kain bukan bahan tradisional.
Masalah terbesar dengan kawalan ESD di dalam bilik bersih ialah pergerakan orang di bilik yang bersih. Kerana orang memakai banyak kain poliester, mereka menghasilkan banyak caj elektrik. Satu-satunya cara untuk menghapuskan caj ini di dalam bilik bersih adalah dengan tanah.
Dalam tempoh lima tahun yang lalu, didapati bahawa sistem pakaian yang diperbuat daripada campuran gentian dan kain karbon menyediakan keperluan bilik bersih untuk ISO 5 (Kelas 100).
Setiap bahagian pakaian mempunyai kekonduksian elektrik yang sama dan mempunyai sambungan konduktif elektrik dari hud ke satu-satunya. Orang yang bekerja di dalam bilik yang bersih boleh berjalan melalui tapak konduktif tanpa alasan ketika memakai pakaian tersebut, sehingga mereka tidak dibatasi oleh panjang kabel tanah.
Kemunculan pakaian kerja itu adalah hasil daripada tuntutan yang tinggi terhadap produk, yang membantu mengurangkan hasil yang rendah dan kadar buruk yang tinggi yang disebabkan oleh masalah ESD di dalam bilik yang bersih.
Tidak ada cara pembaikan yang murah dan cepat untuk mengawal peminat ion ESD. Kuncinya adalah untuk mengawal ESD, seperti kipas ion aliran laminar yang digantung, atau memasang peminat ion di sebelah bahan yang perlu mengawal ESD. Memandangkan saiz cip (IC) menurun, ia menjadi lebih sensitif terhadap ESD. Sekarang, kawalan ESD tidak terhad kepada perlindungan rangkaian kerja, tetapi juga kawalan wafer dan kakitangan yang menghasilkan wafer. Banyak syarikat yang mempunyai standard yang tinggi mengawal ESD dengan cara ini.
