Bahaya elektrik statik di bilik bersih
1. Kekuatan Coulomb Electrostatic
Under the action of electrostatic Coulomb force, adsorbed dust and dirt cause increased leakage or short circuits in components, damaging performance and significantly reducing yield and reliability. For example, when the dust particle size is >100μm, lebar dawai aluminium adalah kira -kira 100μm, dan ketebalan filem oksida adalah 50μm, produk ini kemungkinan besar akan dibatalkan. Sekarang, dengan diameter dawai yang lebih halus dan filem oksida yang lebih nipis, walaupun zarah debu yang sangat kecil boleh merosakkan komponen. Ini sering berlaku semasa proses seperti etsa, pembersihan, fotolitografi, kimpalan tempat, dan pembungkusan.
2. Pelepasan Elektrostatik (ESD)
(1) Filem komponen oksida penebat dipecahkan, dan petunjuk dibakar atau dicairkan di antara wayar. Jika badan manusia membawa caj statik 10kV (100pf), dan menyentuh pin peranti, ESD akan berlaku. Arus pelepasan nadi segera ke tanah boleh mencapai puncak 20A (10 ~ 100s). Ini menghancurkan, merosakkan bukan sahaja ketumpatan tinggi -, halus - diameter, nipis - peranti SiO2 filem seperti LSI dan VLSI, tetapi juga ICS dan Peranti Umum. Secara amnya, voltan bertahan filem SiO2 penebat peranti adalah E=(5-10) × 10⁶ v/cm. Jika ketebalan filem SiO2 adalah 1000, menggunakan voltan statik 50V-100V atau lebih tinggi kepada pin input peranti akan menyebabkan kerosakan. Adalah sangat biasa bagi tubuh manusia untuk membawa elektrik statik melebihi 50V atau 100V.
(2) menyebabkan gangguan bunyi dan elektromagnetik
ESD - EMI yang diinduksi mempunyai puncak tajam dan isyarat yang kuat, bersamaan dengan beberapa volt tenaga dalam litar. Kebisingan yang kuat, dengan frekuensi yang merangkumi beberapa MHz atau bahkan beratus -ratus MHz, boleh merosakkan komponen, menyebabkan peralatan dan sensor terhadap kerosakan, dan juga menyebabkan peralatan jatuh. ESD - EMI yang disebabkan juga boleh menyebabkan input isyarat yang salah atau selak - fenomena. Sebagai contoh, dalam bilik bersih, jika perisai EMI wafer diletakkan pada troli keluli, ESD dari wafer akan dihantar ke troli melalui induktansi. Oleh kerana roda terlindung, penyebaran EMI boleh menyebabkan mesin pemprosesan wafer menjadi kemalangan.
(3) kejutan elektrik kepada tubuh manusia
Bola pelepasan statik badan manusia ESD
Apabila ESD pada tubuh manusia atau ESD ke tubuh manusia melebihi had kejutan elektrik badan manusia dengan lebih daripada 5mA, orang akan mengalami pelbagai sensasi yang berbahaya, menyebabkan kesilapan emosi dan kesilapan operasi di kalangan kakitangan.
Walaupun usaha yang signifikan, masalah elektrik statik dalam bilik bersih untuk semikonduktor, paparan panel rata, optoelektronik, dan lain -lain, masih mempengaruhi pengeluaran keselamatan dan produk pengeluaran, kos pembuatan dan kecekapan, dan kualiti produk dan kebolehpercayaan. Pakar perindustrian asing menganggarkan bahawa purata kerugian produk tahunan disebabkan oleh elektrik statik di Amerika Syarikat adalah 8 - 33%, dan beberapa menganggarkan bahawa kerosakan tahunan terhadap industri elektronik yang disebabkan oleh elektrik statik di Amerika Syarikat mencapai $ 10 bilion. Pada tahun 1980-an, Jepun menganalisis produk elektronik yang dibatalkan dan mendapati bahawa kerugian yang disebabkan oleh ESD menyumbang satu pertiga. Semikonduktor negara saya, LCD panel rata, dan industri optoelektronik bermula agak lewat, tetapi bahaya pelepasan elektrostatik (ESD) masih berlaku dengan kerap, mengakibatkan kadar hasil yang rendah. Di bank, syarikat sekuriti, pangkalan data sulit, pusat pemantauan, bilik penghantaran kuasa, dan tetapan lain yang serupa, ESD dengan mudah boleh menyebabkan gangguan dan kehilangan data, yang membawa kepada situasi yang lebih serius.