Perlindungan elektrostatik dalam pengeluaran semikonduktor
Dalam proses pembuatan semikonduktor, pencegahan dan kawalan elektrik statik adalah perlu. Jika pencegahan dan kawalan elektrik statik tidak dijalankan, masalah seperti pencemaran zarah, kerosakan semikonduktor akibat nyahcas statik dan penutupan peralatan yang berkaitan akan berlaku. Program pencegahan dan kawalan elektrik statik dalam proses pengeluaran semikonduktor termasuk: pembumian, bahan dissipatif statik dan ion peneutralan pengionan udara. Untuk memenuhi keperluan yang dibawa oleh perkembangan pesat industri semikonduktor, bahan dissipative statik dan pengion udara juga sentiasa berubah.
Keperluan kawalan statik dalam pengeluaran semikonduktor
Dalam bidang pengeluaran semikonduktor, adalah mustahil untuk menghapuskan sepenuhnya kesan negatif elektrik statik. Walaupun dengan perlindungan statik, sukar untuk mengekalkan tahap kualiti dan hasil produk yang tinggi. Walau bagaimanapun, jika terdapat kekurangan kawalan statik, pencemaran zarah, kerosakan nyahcas elektrostatik dan kegagalan peralatan, masalah ini adalah dalam pembuatan substrat silikon dan photomasks, di dalam bilik bersih bahagian hadapan semikonduktor dan dalam proses bahagian belakang. termasuk pemasangan, pembungkusan, dan ujian akhir dan penghantaran. Ia mungkin berlaku pada bila-bila masa, menjejaskan kualiti produk semikonduktor secara serius.
Kaedah kawalan statik semikonduktor
Dalam persekitaran pembuatan semikonduktor, sama ada di dalam bilik bersih hadapan atau dalam ujian belakang, pemasangan dan pembungkusan, pembumian konduktor dan bahan dissipative statik harus digunakan. Pembumian menghalang elektrik statik daripada dijana pada konduktor berpenebat dan bahan dissipatif statik. Jika bahan ini membawa elektrik statik, ia juga boleh menghilangkan elektrik statik. Setiap bahan konduktif, termasuk kakitangan, peralatan, permukaan kilang (lantai, dinding, siling dan permukaan kerja) dan produk, harus mempunyai pembumian yang boleh dipercayai. Terminal tanah ini harus diperiksa dengan kerap. Sesetengah konduktor yang tidak dibumikan biasanya merupakan sumber nyahcas statik.
Bahan pelesapan statik menghilangkan cas statik sambil mengekalkan sifat bahan penebat tertentu (seperti kelenturan dan rintangan kimia). Jika ia dibumikan dengan pasti, ia tidak akan mengekalkan cas statik. Dalam aplikasi tertentu (seperti komputer meja atau soket ujian), bahan ini boleh menggantikan bahan konduktor. Dalam aplikasi ini, ia mungkin bersentuhan dengan produk bercas elektrostatik. Rintangan tinggi bahan dissipatif statik (biasanya dalam julat 10^4 hingga 10^11 ohm) boleh melambatkan proses pergerakan cas untuk mengelakkan kejadian kerosakan nyahcas elektrostatik. Bahan dissipative statik mesti diperiksa dan diuji dengan kerap. Kebanyakan bahan ini tidak serasi dengan bilik bersih, dan ciri pelesapan statik akan berubah dari semasa ke semasa, jadi ia mesti dipilih dengan betul apabila menggunakannya.
Pengionan udara digunakan untuk meneutralkan cas statik pada penebat (dan konduktor berpenebat). Prinsipnya ialah pengion (kipas ion) menghasilkan awan ion yang terdiri daripada ion udara positif dan negatif untuk meneutralkan elektrik statik di mana-mana dalam persekitaran pengeluaran. Dalam proses pembuatan, pengionan udara mesti digunakan untuk mengawal medan elektrostatik yang dihasilkan oleh penebat. Sebagai contoh, banyak aspek pengeluaran semikonduktor, seperti kebersihan, rintangan kimia, dan proses suhu tinggi, bergantung pada penebat. Bagi industri pembuatan semikonduktor di mana operasi manual jarang digunakan, penebat ini juga penting di dalam peralatan proses. Perkara yang paling penting ialah produk itu sendiri ialah penebat, sama ada cip semikonduktor bahagian hadapan atau peranti pembungkusan epoksi akhir.