Kesan elektrostatik (ESD)
1.1 Isu ESD
Pelepasan elektrostatik (ESE) adalah perpindahan tak bertanggungjawab antara dua objek potensi elektrostatik yang berbeza. Hasil yang paling biasa dari ESD adalah kerosakan terhadap produk sensitif statik dan kegagalan peralatan. Dalam industri semikonduktor dan elektronik, serta dalam pembuatan peranti perubatan atau optik, rakaman filem-filem media, kejadian seperti ini sering berlaku. Untuk mengurangkan kerugian yang disebabkan oleh pelepasan elektrostatik, disyorkan untuk menggunakan meja kerja anti-statik semasa operasi untuk memastikan keselamatan pengeluaran.
1.2 ESD kebimbangan dalam industri
Dalam pengeluaran elektronik semikonduktor, geometri peranti semakin kecil dan lebih kecil untuk memenuhi keperluan pengecilan, prestasi yang lebih tinggi dan kelajuan berjalan lebih cepat. Ini menghasilkan ketumpatan tinggi peranti diskret pada wafer semikonduktor, dan peristiwa ESD menyebabkan kerosakan atau kegagalan peranti melalui pelbagai mekanisme seperti peleburan, pengaliran garisan lapisan logam, vias oksida nipis, dan sebagainya. Peristiwa-peristiwa ESD juga boleh merendahkan kualiti peranti, mencipta kecacatan berpotensi atau "operasi sakit." Walaupun peranti itu boleh lulus ujian pengeluaran, ia akan gagal sebelum ini.
Industri filem tipis perubatan, optik, dan dielektrik juga dikenali sebagai "caj statik atau pelepasan elektrostatik." Apabila filem disimpan di atas substrat, peristiwa elektrostatik boleh merosakkan produk pada bila-bila masa.
1.3 Kesan ESD ke atas operasi peralatan
ESD bukan sahaja akan merosakkan produk, tetapi juga peristiwa ESD juga akan mempengaruhi peralatan pengeluaran produk tersebut. Fungsi kawalan peralatan pengeluaran banyak menggunakan mikroprosesor, dan peristiwa ESD juga boleh mempengaruhi peralatan pengeluaran produk. Fungsi kawalan peralatan pengeluaran banyak menggunakan mikroprosesor, kesan radiasi elektromagnet (EMI) atau kesan konduksi yang dihasilkan oleh peristiwa ESD yang boleh mengganggu operasi peralatan tersebut. Gangguan elektromagnet yang dihasilkan oleh peristiwa ESD pada satu peranti boleh menjejaskan operasi peranti berdekatan.
Disebabkan peningkatan automasi ruang bersih, operasi mereka sering dikawal oleh sistem pengurusan loji berkomputer (FMS). Apabila peristiwa ESD menyebabkan masalah data dengan satu peranti, keseluruhan operasi tumbuhan terpengaruh. Walaupun penutupan mesin biasanya bukan masalah bencana, ia boleh mengakibatkan downtime, mengurangkan kelajuan pemprosesan, dan kadang-kadang kehilangan produk. Kekurangan proses pengeluaran meningkatkan kos pengeluaran.