Kawalan statik bilik bersih
1. Prinsip asas kawalan statik
(1) Tentukan tahap kawalan statik (2) meminimumkan penjanaan caj statik (3) pelepasan dan meneutralkan untuk mempercepatkan pelesapan caj statik dan mencegah pengumpulan statik (4) melindungi produk dari kerosakan ESD
2. Tentukan tahap kawalan statik
(1) Klasifikasi kepekaan statik komponen, perhimpunan dan peralatan
Tahap 1: terdedah kepada 0-1999 v Voltan statik
Tahap 2: terdedah kepada 2000-3999 v Voltan statik
Tahap 3: Dihurangkan kepada voltan statik 4000-5999 V Voltan statik sensitif lebih besar daripada 16000V, tiada langkah anti-statik diperlukan .
(2) Klasifikasi kawasan kerja perlindungan elektrostatik
Kelas A: Potensi elektrostatik ke tanah dibenarkan tidak melebihi ± 100V
Kelas B: Potensi elektrostatik ke tanah dibenarkan tidak lebih daripada ± 1000V . dalam kejuruteraan sebenar, terdapat tiga tahap potensi elektrostatik tidak lebih daripada 100V, 500V, 1000V, dan lain -lain .
3. meminimumkan penjanaan elektrik statik
Ini adalah langkah pertama dalam proses tiga langkah untuk mengawal elektrik statik . Dalam persekitaran kerja yang disucikan ini, langkah terbaik adalah:
(1) Cuba gunakan peralatan dengan sifat yang sama untuk mengurangkan penjanaan elektrik statik semasa proses hubungan, geseran dan pemisahan;
(2) Cuba gunakan peralatan dengan bahan -bahan dissipative konduktif atau elektrostatik elektrostatik untuk mengurangkan pengumpulan elektrik statik semasa proses hubungan, geseran dan pemisahan;
(3) Cuba gunakan proses pengeluaran yang mengurangkan penjanaan elektrik statik kerana hubungan, geseran dan pemisahan .
4. pelepasan dan penetapan
Ini adalah langkah kedua dalam proses tiga langkah untuk mengawal elektrik statik . langkah-langkah yang paling biasa di dalam bilik bersih pengeluaran mikroelektronik adalah asas, menggunakan bahan konduktif atau dissipative untuk menunaikan elektrik statik, dan pengionan pengion untuk meneutralkan elektrik statik .
(1) Bilik yang bersih harus mempunyai sistem asas elektrostatik yang bebas (termasuk sistem jejaring logam tanah dan sistem pembengkakan stesen kerja talian) supaya semua perumahan logam di dalam bilik, kurungan logam peralatan mudah alih, peralatan anti-statik, dan lain-lain. dilepaskan ke tanah melalui lantai anti-statik melalui kasut anti-statik atau tali tumit . tanah, dinding, siling, partisi, dan lain-lain . Grounding .
(2) Peralatan elektrik terionisasi Selalunya terdapat beberapa konduktor terlindung dan bahan -bahan dielektrik penebat (seperti plastik yang paling biasa) yang tidak boleh didasarkan pada komponen, PCB, garisan pengeluaran, dan stesen kerja yang dihasilkan dan dipasang di dalam bilik yang lebih tinggi, Pengionan udara digunakan untuk meneutralkan caj statik pada konduktor medium dan terpencil penebat .
(3) bahan konduktif dan dissipative
Bahan konduktif dan dissipative juga merupakan bahan yang baik untuk menunaikan elektrik statik kerana kekonduksian mereka . mereka juga lebih selamat daripada konduktor logam . mereka biasanya digunakan sebagai peralatan anti-statik seperti lantai, dinding, meja kerja, container, pinsel, dan berus {3}
5. Mencegah ESD
Melindungi produk adalah langkah terakhir dalam proses tiga langkah untuk mengawal elektrik statik . di dalam bilik bersih pengeluaran mikroelektronik, untuk mengelakkan ESD daripada berlaku pada komponen sensitif statik atau PCB, Kaedah lain adalah dengan menggunakan kaedah dan bahan pembungkusan yang sesuai untuk mengendalikan pembungkusan dan pengangkutan peranti sensitif statik . bahan-bahan ini dapat melindungi caj yang berkesan untuk menyerang produk dan mengurangkan elektrik yang dihasilkan oleh produk yang bergerak Peralatan . Jika voltan yang dibenarkan di kawasan EPA mencapai 25V, saya takut bahawa peralatan, peralatan, peralatan, dan kejuruteraan anti statik kami yang sedia ada perlu melalui banyak kerja keras .